Qib siab hlau silicon hlau 97

Kev txiav txim siab ib txhij ntawm kev txiav txim siab ntawm cov lw thiab lw impurity Elemination Plasma attomed Teasma atomic uppression spectroscopy (icp-aes) hauvSilicon Hlau 97Cov. Lub silicon cov qauv hlau qauv, nist srm -57 A, tau txiav txim siab nrog cov khoom sib tw silicon rau hauv cov khoom siv ua kom zoo thiab cov khoom siv hluav taws xob. Cov rov qab los ntawm cov kab thiab cov qauv tsis txaus ntseeg hauv cov qauv silicon tau tsawg dua 5%, uas yog qhov yooj yim rau kev soj ntsuam, thiab cov txiaj ntsig raug.

1.Nyob rau hauv lub micensensor system, ntau-txheej ua kom tiavSilicon Hlau 97Kev sib tshuam cov txheej txheem yog siv los kov yeej qhov tseeb tias thaum lub heelioning kev sib xyaw ua ke nrog monolithnection kev sib xyaw ua ke, thiab cov qauv txheej txheem sib xyaw ua ke tuaj yeem ua tiav ntawm cov txheej txheem CMOS kab, uas txo tus nqi tsim khoom. Tom qab daim kab xev tawm, cov qauv sib txuas tau muaj cov yam ntxwv ntawm cov kauj ruam muaj zog, uas tuaj yeem ua kom tau raws li cov cai ntawm cov txheej txheem loj ntawm cov txheej txheem ntawm cov txheej txheem ntau ntau cov txheej txheem. Qhov loj-teev digital-analog hybrid sib xyaw ua ke ntawm nws khaws nws cov kev ua tau zoo tom qab muaj kev kawm ntxiv tom qab 600 degree 5, thiab min, feem. Cov kev qhia saum toj no ua tau raws li cov kev cai ntawm monolithic sib koom tes ntawm cov tshuab ntsuas ntawm cov ferroelectric nyias zaj duab xis.

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