Qib siab cov khoom silicon nitride

Ib nrab crystallized silicon mosaic microstructures pom nyob rau hauvSilicon NitrideFilms npaj los ntawm LPCVD. Ua raws li cov kev loj hlob thiab cov txheej txheem, qhov ntsuas ntawm cov qauv sib txawv los ntawm kaum mus rau ntau pua tus nanometers. Raws li kev ntsuas kev ntxhov siab thiab kev sib kis hauv cov yeeb yaj kiab SINICON-REIFEY SINX zaj yeeb yaj kiab, thiab lawv cov yeeb yaj kiab LPCvd los ntawm cov yeeb yaj kiab, thiab cov yeeb yaj kiab ntawm LPCVD ntawm zaj duab xis, thiab cov yeeb yaj kiab ntawm LPCVD ntawm zaj duab xis, thiab cov yeeb yaj kiab uas tsis muaj kev sib tw, thiab cov yeeb yaj kiab uas tsis muaj cai 40 hli × 40mm. Raws li cov txiaj ntsig ntawm txoj kev tshawb no, kev tswj hwm kev loj hlob ntawm Sinx Wh Challbranes nrog kev txiav txim siab tensile tau pom los ntawm LPCVD.

1.Silicon NitrideCov yeeb yaj kiab nyias nyias (ua txhaum _ u tau npaj los ntawm cov khoom siv tshuaj tsw qab (LPCvd) siv cov khoom silicon Kev loj hlob kinetics ntawm kev txhaum {2}}} morpermorry, thiab cov yeeb yaj kiab micrporometroscopy, thiab cov yeeb yaj kiab micrporometroscopy, thiab cov yeeb yaj kiab micrporometroscopy, thiab cov yeeb yaj kiab micrporometroscopy, thiab cov yeeb yaj kiab micrporometroscopy, thiab cov yeeb yaj kiab micrporometroscopy, thiab cov yeeb yaj kiab micpeptic) metcopy. Raws li tib tej yam kev mob ntawm lwm cov txheej txheem, txoj kev loj hlob ntawm kev ua haujlwm ntawm ammonia mus rau cov pa roj hmab muaj qhov cuam tshuam ntawm zaj duab xis. Raws li cov tshuaj tiv thaiv kub nce, tus nqi tso nyiaj nce zuj zus, mus txog qhov siab tshaj plaws ntawm 840 degree thiab tom qab ntawd tsawg dua. Thaum R2 yog siv, ib qho kev txhaum uas muaj kev txhaum si-nplua nuj {10}} X nyias zaj duab xis (x1.33) tau txais. Thaum R4 yog siv, kev txhaum _ u zaj duab xis nrog ze-stoichiometric (Z≈1.33) tau txais.

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